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~ 單雙開(kāi)門(mén)設(shè)計(jì)(可客制)

~ 機(jī)臺(tái)內(nèi)環(huán)境 Class 100

~ 可同時(shí)放八個(gè) FOUP/FOSB

~ 客制化治具應(yīng)付多樣洗物

~ 可使用客供清潔劑清洗

~ 機(jī)臺(tái)尺寸W/L/H 1.5mx1.5mx2.6m